計測システムハードディスク表面欠陥検査装置 DSIS-2015
CCDカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ、等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。
従来の明視野検査に加え暗視野検査を追加した事で、汚れ、クラック、チッピング、スクラッチ傷など様々な欠陥の検出に対応しています。
合否判定に基づいたディスクの自動振り分け、検査結果は上位システムに通信し管理することができます。
- 概要
- 詳細・オプション
- 主仕様表
■検査仕様
- 対応ディスク 1.89″,2.5″,3.5″
- 検査領域 内周端面を除く全域（または指定領域）
- センサ素子サイズ 7um
- ピクセル分解能 検査領域（レンズ倍率に依存）
■検査方式
- 高輝度LED照明＋CCD（ラインセンサ）カメラにより画像を撮影しながら、高速画像処理でリアルタイムに検査
- 明視野カメラ、暗視野カメラ搭載で様々な種類の欠陥検出に対応
■検査結果
- 合格・不合格ディスクを個別カセットに分級
- グレイ判定、NG画像保存、日報作成、検査データの上位サーバーへの送信
- 各種欠陥検出処理に対して、
- 総画素数
- 最大欠陥サイズ
- 総欠陥数
の3項目に対して、ランク分けが可能 - その他、選択した画像の保存機能
■明視野検査
ODチッピング欠陥
IDチッピング欠陥
端面欠陥（ピット、クラック）
■暗視野検査
周方向スクラッチ傷
径方向スクラッチ傷
■検査仕様
| 対応ディスク |
1.89”、2.5”、3.5” |
|---|---|
| 検査領域 |
内周端面を除く全域(または指定領域) |
| 検出対象欠陥 |
汚れ・ﾊﾟｰﾃｨｸﾙ・打痕・ｸﾗｯｸ・ｽｸﾗｯﾁ・ﾁｯﾋﾟﾝｸﾞ・ｴｯｼﾞうねり |
| 画像分解能 | 明視野検査 ・基板半径方向（Surface）:7um ・基板厚み方向（Edge）:7um ・円周方向（Surface）:< 20um@OD65mm(24um@OD95mm) ・円周方向（Edge）:< 20um@OD65mm (30um@OD95mm) 暗視野検査 ・基板半径方向:14um@OD65mm (19um@OD95mm) ・円周方向:<80um@OD65mm (92um@OD95mm) |
| 検査合否判定 |
検出感度、欠陥サイズ、欠陥数など検査パラメータによる設定（検査条件は16条件まで設定可） |
■装置仕様
| スループット |
950PPH（検査条件による） |
|---|---|
| 装置サイズ |
本体 : W1862 D2264 H2600[mm] |
| クリーン度 | Class 10 (@ 0.1um particle size） |
| 画面表示 | 検査履歴、収率・スループット、検査条件、設備状態、 光量制御モニタ、検査画像 |
| 上位通信 |
検査結果を御社指定フォーマットにて上位サーバに送信 |
| ファイル保存 | 1日単位の検査結果をcsv形式で保存、検査画像の保存 |
■ユーティリティ
|
電気 |
3相200V 50/60Hz 60A |
|---|---|
|
ｸﾘｰﾝﾄﾞﾗｲｴｱ |
0.5MPa 15Nl/min |
| 装置排気 |
13㎥/min |
