計測システムレーザー式ハードディスク表面欠陥検査装置 Laser Explorer
ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。
複数レーザーの同時照射により、スクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。
- 概要
- 詳細・オプション
- 主仕様表
■欠陥MAP
・種類毎に色分け表示
■欠陥種別グラフ
・種類ごとに個数表示
■欠陥リスト
・欠陥座標、サイズ表示(CSVファイル出力対応)
■ 欠陥サイズ分類
・信号(散乱、反射、位相シフト)強度、欠陥サイズによるランク分け(最大10ランク)
■ マーキングオプション
・マーキング深さ、長さ等の設定が可能
検出 |
方式 |
散乱系、反射系、位相シフト系 |
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欠陥 |
パーティクル、スクラッチ、ピット、カーボンフレーク、スメアなど |
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対象基板 |
種類 |
メディア、アルミ基板、ガラス基板 |
サイズ |
2.5”、3.5”など |
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検査時間 |
走査時間 |
約9秒(2.5”、10umピッチ) |
演算時間 |
約30秒(同上) |
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レーザー |
波長/数 |
405nm/3本 |
検査ピッチ |
5~30um |
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スピンドル |
チャック方式 |
IDクランプ式 |
回転数 | 12,000RPM | |
外形 |
1400(W)×600(D) ×1820(H) |