計測システムレーザー式ハードディスク表面欠陥検査装置 Laser Explorer

ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。
複数レーザーの同時照射により、スクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。

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特長

  1. 高出力レーザーによる微小欠陥の検出
  2. 高いスクラッチ検出能力
  3. 欠陥の凹凸を弁別
  4. 全数オートフォーカス
  5. 優れたコストパフォーマンス
  6. カスタマイズ対応
  7. 1カセット自動検査対応
  8. 透明ガラス基板対応

  • 概要
  • 詳細・オプション
  • 主仕様表

■欠陥MAP

・種類毎に色分け表示
欠陥MAP

 

■欠陥種別グラフ

・種類ごとに個数表示
欠陥種別グラフ

 

■欠陥リスト

・欠陥座標、サイズ表示(CSVファイル出力対応)
欠陥リスト

 

■ 欠陥サイズ分類

・信号(散乱、反射、位相シフト)強度、欠陥サイズによるランク分け(最大10ランク)
欠陥サイズ分類

 

■ マーキングオプション

マーキングオプション1

   ・欠陥位置にマーキングを行うことで顕微鏡等による欠陥観察が
    可能

マーキングオプション2

マーキングオプション3

・マーキング深さ、長さ等の設定が可能

検出

方式

散乱系、反射系、位相シフト系

欠陥

パーティクル、スクラッチ、ピット、カーボンフレーク、スメアなど

対象基板

種類

メディア、アルミ基板、ガラス基板

サイズ

2.5”、3.5”など

検査時間

走査時間

約9秒(2.5”、10umピッチ)

演算時間

約30秒(同上)

レーザー

波長/数

405nm/3本

検査ピッチ

5~30um

スピンドル

チャック方式

IDクランプ式

回転数 12,000RPM
外形

1400(W)×600(D) ×1820(H)