半導体検査装置

半導体ウェハ向けの検査装置。
当社で培ってきた光・画像・精密機械の技術を結集し、お客様の課題解決に貢献します。

レーザー式ウェハ表面欠陥検査装置 Laser Explorer

画像式ウェハ表面欠陥検査装置 K-IM-G100

ハイブリット型 表面欠陥検査装置 K-HB-G100

レビュー機能付きウェハ表面欠陥検査装置 K-LE-G200

ウェハ外観検査装置（自動目視検査装置） K-VI-G100





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