環境チャンバー試験装置 K-EC-2018

基本仕様

• (1) 温度制御：　(制御範囲)　-5　-　80(*1)　[C]　　(制御精度)　+/-1.0C
• – 温度制御速度は上げることが可能（ヒータークーラープレート追加オプション）
• (2) 湿度制御: (制御範囲)0(*2) – 80 [%RH] (制御精度) +/- 2.0 %RH
• – チャンバー内に設置されたウォータータンクを開閉することで水の自然蒸発を利用した湿度制御
  自然蒸発のため、コンタミの発生や結露発生のリスクが低い
• – 除湿する際は、Heガスやドライエアの供給を行う。ガまたはドライエアの選択は制御目標のHeガス％によって決定
• (3) 圧力制御: (制御範囲) 100 – 大気圧 [torr] (制御精度) +/- 5 torr
• (4) ガス(He, N2)制御: (制御範囲) 0 – 100 [%] (制御精度) +/-3.0%
• – ドライガスとHeガスの供給によりHeガス%を制御
• – 密閉度が高いため、He消費が少ない

*1: チャンバー内部に設置する装置の最高使用温度範囲内でご使用ください。
*2: 最低到達湿度は、ご使用になるHeガスやドライエアの湿度に依存します。

カスタム対応

• (1)チャンバーサイズ：　約1m x 1m x 1mまで対応可能
  (内部空気拡散用ファンの取り付け、ウォータータンクの大型化など含む）
• (2)真空対応コネクタの取付 (D-sub25ピン, D-sub37ピン, D-sub61ピン, SMA, BNC …)
• (3) ビューポートの取付
• (4) ヒータークーラープレートの増設（温度変化速度アップ）