表面欠陥検査装置ウェハ外観検査装置（自動目視検査装置） K-VI-G100
目視で確認可能なサイズの欠陥を自動で検査、検出する装置です。
検査対象の材質や欠陥に最適な光学系を組み合わせることで欠陥の検出、弁別が可能です。
- 概要
- 詳細・オプション
- 主仕様表
■特長
- 高速検査（100PPH/8inch）
- 独自の画像処理技術による欠陥抽出・弁別機能（ルールベース、AI判別）
- 手動機／自動機（搬送機構付き）の選択可能
- 欠陥に合わせ最適な光学系のご提案が可能
- 矩形基板の検査にも対応
特殊な検査要望にも対応致しますので、ご相談ください。
■様々な形状の基板の検査にも対応
円形の他、矩形ウエハの検査も可能です。
■材質に合わせ様々な光学系の提案が可能
- 各半導体材料の他、ガラス基板などの検査も可能です。
- サンプル評価を通して、最適な光学系をご提案します。
| 検出 | 方式 | カメラを用いた画像解析方式 |
|---|---|---|
| 検出サイズ | 30um | |
| 対象基板 | 種類 | 透明体を含む各種基板 |
| サイズ | 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます | |
| 装置サイズ | 外形寸法 | W1,400 x D1,000 x H1,935 (mm) |
| 質量 | 約800kg |
自動搬送機能を除き、検査に必要なミニマム仕様版のリーズナブルな装置にも対応いたします。
