表面欠陥検査装置画像式ウェハ表面欠陥検査装置 K-IM-G100
微分干渉顕微鏡を搭載した表面欠陥検査装置で透明体材料にも適用しております。
全面検査による欠陥マップ出力や検出した欠陥の顕微鏡観察が可能な装置です。
- 概要
- 詳細・オプション
- 主仕様表
■欠陥MAP
- 種類毎に色分け表示
■欠陥種別グラフ
- 種類ごとに個数表示
■欠陥リスト
- 欠陥座標、サイズ表示（CSVファイル出力対応）
■顕微鏡観察画像
■マーキング機能
- 検出した欠陥近傍にマーキングを入れます。
- 圧痕方式、ライン方式、インク方式から選択が可能です。
- 顕微鏡を使用した高精度マーキングが可能です。
| 検出 | 方式 | 微分干渉顕微鏡を用いた画像解析方式 |
|---|---|---|
| 検出サイズ | 0.3um（対物レンズ10倍使用時） | |
| 対象基板 | 種類 | 透明体を含む各種基板 |
| サイズ | 4inch 、6inch、8inch、別途相談に応じます | |
| 装置サイズ | 外形寸法 | W1,700 x D1,000 x H1,935 (mm) |
| 質量 | 約800kg |
自動搬送機能を除き、検査に必要なミニマム仕様版のリーズナブルな装置にも対応いたします。
