計測システムレーザー式ウェハ表面欠陥検査装置 Laser Explorer

半導体基板表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。
1カセット（25枚）を約40分（4インチ 10umピッチ）で検査します。