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「半導体/HD検査装置」一覧
特徴・機能
CCDカメラで取り込んだ画像解析により、ガラス基板、メディアの表面、エッジ部のチッピング、汚れ等を、高速・高精度に検出する量産ライン検査装置です。従来の明視野検査に加え暗視野検査を追加した事で、汚れ、クラック、チッピング、スクラッチ傷など様々な欠陥の検出に対応しています。合否判定に基づいたディスクの自動振り分け、検査結果は上位システムに通信し管理することができます。
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検査仕様
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対応ディスク 1.89inch,2.5inch,3.5inch
検査領域 内周端面を除く全域（または指定領域）
センサ素子サイズ 7um
ピクセル分解能 検査領域（レンズ倍率に依存） -
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検査方式
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高輝度LED照明＋CCD（ラインセンサ）カメラにより画像を撮影しながら、高速画像処理でリアルタイムに検査
明視野カメラ、暗視野カメラ搭載で様々な種類の欠陥検出に対応 -
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検査結果
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合格・不合格ディスクを個別カセットに分級
グレイ判定、NG画像保存、日報作成、検査データの上位サーバーへの送信
各種欠陥検出処理に対して、
総画素数
最大欠陥サイズ
総欠陥数
の3項目に対して、ランク分けが可能
その他、選択した画像の保存機能 -
明視野検査
暗視野検査
主仕様表
検査仕様
| 対応ディスク | 1.89inch、2.5inch、3.5inch |
| 検査領域 | 内周端面を除く全域(または指定領域) |
| 検出対象欠陥 | 汚れ・ﾊﾟｰﾃｨｸﾙ・打痕・ｸﾗｯｸ・ｽｸﾗｯﾁ・ﾁｯﾋﾟﾝｸﾞ・ｴｯｼﾞうねり |
| 画像分解能 | 明視野検査 ・基板半径方向（Surface）:7um ・基板厚み方向（Edge）:7um ・円周方向（Surface）:< 20um@OD65mm(24um@OD95mm) ・円周方向（Edge）:< 20um@OD65mm (30um@OD95mm) 暗視野検査 ・基板半径方向:14um@OD65mm (19um@OD95mm) ・円周方向:<80um@OD65mm (92um@OD95mm) |
| 検査合否判定 | 検出感度、欠陥サイズ、欠陥数など検査パラメータによる設定（検査条件は16条件まで設定可） |
装置仕様
| スループット | 950PPH（検査条件による） |
| 装置サイズ | 本体 : W1862 D2264 H2600[mm] |
| PCラック : W570 D630 H1850 [mm] | |
| 重量 : 1600 kg | |
| クリーン度 | Class 10 (@ 0.1um particle size） |
| 画面表示 | 検査履歴、収率・スループット、検査条件、設備状態、 |
| 光量制御モニタ、検査画像 | |
| 上位通信 | 検査結果を御社指定フォーマットにて上位サーバに送信 |
| ファイル保存 | 1日単位の検査結果をcsv形式で保存、検査画像の保存 |
ユーティリティ
| 電気 | 3相200V 50/60Hz 60A |
| ｸﾘｰﾝﾄﾞﾗｲｴｱ | 0.5MPa 15Nl/min |
| 装置排気 | 13㎥/min |
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