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特徴・機能
ハードディスク表面に高出力レーザーを照射することで、スクラッチ、ピットなどの微細な表面欠陥を検出し、欠陥種類ごとに分類、結果表示します。複数レーザーの同時照射により、スクラッチを高感度で検出するだけでなく、欠陥の凹凸形状を判定します。
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欠陥MAP
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種類毎に色分け表示
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欠陥種別グラフ
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種類ごとに個数表示
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欠陥リスト
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欠陥座標、サイズ表示（CSVファイル出力対応）
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欠陥サイズ分類
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信号（散乱、反射、位相シフト）強度、欠陥サイズによるランク分け（最大10ランク）
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オプション
マーキングオプション
欠陥位置にマーキングを行うことで顕微鏡等による欠陥観察が可能
マーキングオプション（画像）
マーキング深さ、長さ等の設定が可能
主仕様表
| 検出 | 方式 | 散乱系、反射系、位相シフト系 |
| 欠陥 | パーティクル、スクラッチ、ピット、カーボンフレーク、スメアなど | |
| 対象基板 | 種類 | メディア、アルミ基板、ガラス基板 |
| サイズ | 2.5inch、3.5inchなど | |
| 検査時間 | 走査時間 | 約9秒（2.5inch、10umピッチ） |
| 演算時間 | 約30秒（同上） | |
| レーザー | 波長/数 | 405nm/3本 |
| 検査ピッチ | 5～30um | |
| スピンドル | チャック方式 | IDクランプ式 |
| 回転数 | 12,000RPM | |
| 外形 | 1400(W)×600(D) ×1820(H) | |
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